한국가스안전공사, 반도체 EUV 장비 규제혁신 감사패 수상

-ASML 임원 방문, EUV 장비 제도개선 및 검사체계 혁신 노고에 감사의 뜻 전해-

한국가스안전공사(사장 박경국)는 21일 네덜란드 ASML의 시넴 귀벤(Sinem Güven) 부사장이 공사를 방문하여, 반도체 제조용 극자외선 노광장비(EUV)에 대한 신속한 제도개선과 검사체계 혁신 노력에 감사의 뜻을 표하고 감사패를 전달했다고 밝혔다.

공사는 정부와 협력하여 EUV 장비를 「고압가스 안전관리법」에 따른 특정설비로 전환하는 법령 개정을 추진하고, EUV 장비의 도입 기간을 기존 34일에서 9일로 대폭 단축했다.

또한, 공사는 상세기준 AA916(반도체 제조용 극자외선 노광장비 제조의 시설·기술·검사 기준)의 제정 과정에서 내외부 의견수렴을 통해 업계의 수요가 충분히 반영될 수 있도록 노력하였다.

아울러 분과위원회 및 기준위원회 개최와 최종 정부의 승인까지 모든 상세기준 제개정 절차를 한 달여 남짓 기간 안에 신속하게 완료하여 극자외선 노광장비의 신속한 국내 도입 및 가동을 지원한 바 있다.

이어 공사는 후속 조치로 검사 절차의 신속화 방안을 마련하여 공장등록 및 생산단계검사 처리기간을 대폭 단축하는 패스트트랙 검사*를 완수했다.

* 공사 내 전문가로 합동 심사팀을 구성하고, 기존에 각각 순차적으로 실시하는 공장심사와 생산단계검사를 통합 추진하여 검사기간 단축(50일→18일)

이에 따라, 향후 EUV 장비의 국내 반입과 설치 일정에 대한 예측 가능성이 높아지고, 반도체 산업 현장의 행정적·시간적 부담도 크게 완화될 것으로 기대된다.

박경국 한국가스안전공사 사장은 “이번 제도개선과 검사혁신은 안전관리 수준은 유지하면서 산업 현장의 불합리한 부담은 줄인 규제 합리화의 모범 사례”라며 “앞으로도 반도체 산업의 경쟁력 확보와 안정적인 성장을 지원할 수 있도록 산업계와 긴밀히 소통하겠다”고 말했다.

출처: 한국가스안전공사 보도자료. 사진·첨부는 원문 링크에서 확인하세요.